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发明名称 ELECTROSTATIC ABSORPTION APPARATUS, PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR20050041926(A) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 KR20040086768 申请日期 2004.10.28
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SATOYOSHI, TSUTOMU
分类号 H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01J11/02 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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