发明名称 | 线圈高度测量装置与方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种用于确定线圈上某点高度的方法与装置。高度规器件被放置在将被测量线圈上某点的上方。入射光从高度规器件中被投射以照明该点。高度规器件接收由入射光产生的反射光,同时被耦接到高度规器件中的处理器根据反射光的特性确定上述点相对于参考面的高度。本发明还提供了进一步用于寻找线圈上最高点位置和高度的方法及装置。 | ||
申请公布号 | CN1612313A | 申请公布日期 | 2005.05.04 |
申请号 | CN200410088715.3 | 申请日期 | 2004.11.01 |
申请人 | 先进自动器材有限公司 | 发明人 | 程晓辉;梁永康 |
分类号 | H01L21/66;H01L21/60;G01N21/956 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
主权项 | 1、一种用于确定线圈上某点高度的方法,其包含有以下步骤:在线圈上该点的上方定位高度规器件;从高度规器件投射入射光以照明该点;使用高度规器件接收由入射光产生的反射光;以及从反射光的特性确定所述点相对于参考面的高度。 | ||
地址 | 香港新界葵涌工业街16-22号屈臣氏中心20楼 |