一种用于拉制单晶时加快多晶原料熔化的底部发热体装置

摘要

本发明涉及拉制单晶时加快多晶原料熔化法的装置，为一种拉制单晶时加快多晶原料熔化法的底部发热体装置。可用于加快多晶硅、多晶锗的熔化。其方法是向主发热体通入直流电的同时，向底部发热体(圆盘状发热体)中通入直流电，分别从石英坩埚的侧面和底部加热石英坩埚。其装置是由圆盘状发热体和二个电极组成，在圆盘状发热体上有通孔槽和二个电极孔。本发明缩短了多晶硅原料的熔化时间，节省了电能，增加了单位时间内单晶硅的产量。其底部发热体装置结构简单，易于制造效果显著。

主权项

1.一种用于拉制单晶时加快多晶原料熔化的底部发热体装置，其特征是，1)包括石墨圆盘状发热体(22)和二个电极(21)，2)圆盘状发热体中央有一个中央圆孔(23)，以中央圆孔(23)为中心有指向圆盘周边的，横截面为长方形的通孔槽(24)，通孔槽(24)的顶端(25)与圆盘的周边的距离为10mm-150mm，3)在两个通孔槽(24)之间有从圆盘周边指向中央圆孔(23)的横截面为长方形的通孔槽(26)，通孔槽(26)的顶端(27)与中央圆孔(23)的距离为10mm-150mm，4)在二个通孔槽(24)的顶部有二个电极孔(28)，通过二个电极孔(28)，将二个电极(21)与圆盘状发热体(22)相连接。