Akustischer Filmresonator und Herstellungsverfahren hierfür

摘要

Der offenbarte akustische Filmresonator umfasst Folgendes: einen piezoelektrischen Dünnfilm, der auf einer Hauptoberfläche eines Substrats ausgebildet ist, und eine untere Elektrode und eine obere Elektrode, welche so angeordnet sind, dass der piezoelektrische Dünnfilm zwischen sie geschichtet ist. Bei diesem akustischen Filmresonator ist der piezoelektrische Dünnfilm aus Aluminiumnitrid hergestellt, und die untere Elektrode und/oder die obere Elektrode enthält eine Ruthenium- oder Rutheniumlegierungsschicht.