多级式真空帮浦

摘要

本发明系有关于一种多级式真空帮浦，系于复数个壳体内分别形成有一压缩腔体，且于每二壳体间组设有一隔板，当前一压缩腔体内之气体经由转轴之转子压缩后，可经由隔板内之气流通道流通至后一压缩腔体，并再经过压缩而流通至再后一压缩腔体。上述气体于每一压缩腔体内经过压缩后，系可直接经由隔板内之气流通道而流通至后一压缩腔体，其并不同于传统必须经由环绕形成于压缩腔体外侧之气体流道，故本发明之壳体于设计上可相较于传统设计方式为小，亦即本发明之多级式真空帮浦之外径尺寸及体积可有效减小，且相对可减少重量并降低成本。