发明名称 | 化学供应系统及其阀箱设计 | ||
摘要 | 一种化学供应系统,其系包括一第一化学供应装置、数个主管路以及一第二化学供应装置。其中,第一化学供应装置系配置在一第一楼层,且第一化学供应装置内具有一控制单元。数个主管路系与第一供应装置连通,且其中一主管路系用来配送化学物至第一楼层之使用端。而第二化学供应装置系配置在一第二楼层,且另一主管路系由第一化学供应装置连通至第二化学供应装置,以配送化学物至第二楼层之使用端。本发明使用多个主管路以配送化学试剂或气体,因此可解决管路限流之问题。 | ||
申请公布号 | TW200514947 | 申请公布日期 | 2005.05.01 |
申请号 | TW092128667 | 申请日期 | 2003.10.16 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 洪锡焜;徐乾智 |
分类号 | F17D1/00;H01L21/00 | 主分类号 | F17D1/00 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 |