| 摘要 |
〔课题〕提供：在配线于电极或可动基板时，容易打线之微机电(MEMS)装置、不伤及此微机电(MEMS)装置的驱动部份等以进行切断之制造方法、及搭载此微机电(MEMS)装置之微机电(MEMS)模组。〔解决手段〕一种微机电(MEMS)装置，具备有，设有电极2之第1基材1、至少具有可动部3a和外缘支撑部3b的可动基板3、和具有凹部6之第2基材5；经由接合第1基材1、可动基板3及第2基材5，形成使凹部6为其一部份之空间部7；经由在电极2与介于外缘支撑部3b的可动部3a之间施加电压，在空间部7的内部，作动可动部3a；第1基材1的一部份，比第2基材5的侧面更突出到外侧。 |
