HIGH NUMERICAL APERTURE RING FIELD OPTICAL REDUCTION SYSTEM,申请号KR19960064425-传众专利搜索

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发明名称	HIGH NUMERICAL APERTURE RING FIELD OPTICAL REDUCTION SYSTEM
摘要
申请公布号	KR100451339(B1)	申请公布日期	2005.04.28
申请号	KR19960064425	申请日期	1996.12.11
申请人		发明人
分类号	G02B17/08;G02B27/18;G02B17/06;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/18	主分类号	G02B17/08
代理机构		代理人
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