| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN MIT EINEM GRABEN-GATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69924338(D1) |
申请公布日期 |
2005.04.28 |
| 申请号 |
DE19996024338 |
申请日期 |
1999.03.29 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
LUO, JIKUI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/082;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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