| 发明名称 | 加热单元 | ||
| 摘要 | 提供具有代替现有的均热板而不变形、可迅速做温度改变的传热板的加热单元。该加热单元中，通过光源(1)照射传热板(4)，利用由所述被照射的传热板(4)的传热来加热被加热物(6)，其特征在于，所述传热板(4)由具有透光性的保持体(2)，和设置在该保持体(2)的表面、吸收由所述光源(1)透过所述保持体(2)的光而发热的传热层(3)构成。 | ||
| 申请公布号 | CN1610081A | 申请公布日期 | 2005.04.27 |
| 申请号 | CN200410087036.4 | 申请日期 | 2004.10.22 |
| 申请人 | 优志旺电机株式会社 | 发明人 | 水川洋一;宫宇地浩二 |
| 分类号 | H01L21/324;H01L21/26;H01L21/00;C23C14/00 | 主分类号 | H01L21/324 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 钟强;关兆辉 |
| 主权项 | 1.一种加热单元，利用光源照射传热板，通过所述被照射的传热板的传热来加热被加热物，其特征在于：所述传热板由具有透光性的保持体，和设置在该保持体的表面、吸收由所述光源透过所述保持体的光而发热的传热层构成。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||