发明名称 质量测量的装置和方法
摘要 质量测量的装置1包括振子2,用于激发振子2中的基振的驱动装置3A、3B、3C和3D,用于探测振子2中的振动位移的探测装置4A和4B,和能够吸附探测物质的吸附薄膜5。质量是基于在质量未测时,从探测装置4A和4B获得的振动位移探测值和在该质量测量时从探测装置4A和4B获得的振动位移探测值之间的差值测得的。
申请公布号 CN1609555A 申请公布日期 2005.04.27
申请号 CN200410076604.0 申请日期 2004.08.19
申请人 日本碍子株式会社 发明人 大杉幸久;冈田直刚;石川诚司
分类号 G01C19/00;G01N5/02 主分类号 G01C19/00
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 李家麟
主权项 1、质量测量的装置,包括振子,在所述振子中激发基振的驱动装置,探测所述振子中振动位移的探测装置,和能够吸附探测物质的吸附薄膜,其中,所述质量是基于在所述质量未测时从所述探测装置获得的所述振动位移探测值和所述质量测量时从所述探测装置获得的所述振动位移探测值之间的差值测得的。
地址 日本爱知县