使用四象仪与雷射二极体之三维振动位移量测系统

摘要

本发明为使用四象仪与雷射二极体之三维振动位移量测系统，其利用一组夹治具来夹持多组四象仪，以及另一组夹持具夹持两组以上的雷射发射器，进而建立出一套量测系统。本发明所设计的两组夹治具，其一能够最多夹持三个四象仪且相互的垂直度良好，再固定于工具机平台上；另一组则能够同时夹持两个雷射二极体且使其发射雷射光相互垂直；这样可以减少架设误差。量测时由雷射二极体打出光源至夹治具上的四象仪，当光源打入夹治具上的雷射四象仪，其四象仪接收雷射光随着平台的量测运动来进一步感测平台的位移误差，也利用了四象仪可探测及处理二维讯号的能力，对于量测的自由度增加许多。

主权项

1.一种使用四象仪与雷射二极体之三维振动位移 量测统,包括有一四象仪、一雷射二极体、一四象 仪夹治具、一射二极体夹治具以及一工具机床台; 该雷射二极体经由雷射二极体夹治具夹持,并发射 雷射光束打至四象仪,该四象仪被四象仪夹治具夹 持着且固定在工具机床台上,可随着工具机床台的 平面运动或循轨运动,而四象仪的感测器接收到雷 射二极体的雷射光束并利用四象仪夹治具随着工 具机床台的作动,进一步去量测分析出此工具机床 台的几个自由度误差。 2.如申请专利范围第1项所述之使用四象仪与雷射 二极体之三维振动位移量测系统,其系以一组或同 时使用多组雷射二极体来量测工具机多自由度误 差。 3.如申请专利范围第1项所述之使用四象仪与雷射 二极体之三维振动位移量测系统,其系以一组或同 时使用多组四象仪来量测及处理误差讯号的量测 工具机多自由度误差。 4.如申请专利范围第1项所述之使用四象仪与雷射 二极体之三维振动位移量测系统,其使用一组夹治 具夹持两组雷射二极体且使两雷射光相互垂直射 出并同时作工具机平台之量测的工具机多自由度 误差量测。 5.如申请专利范围第1项所述之使用四象仪与雷射 二极体之三维振动位移量测系统,其使用一组夹治 具夹持两组或两组以上四象仪且使这些四象仪相 互的垂直度良好以做为工具机多自由度误差以及 讯号分析处理的工具机多自由度误差量测。 图式简单说明: 图一为本发明之立体结构示意图。