发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR HAVING HEMISPHERICAL SILICON LAYER
摘要
申请公布号 KR100486220(B1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 KR19970059712 申请日期 1997.11.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JAE DONG;HWANG, GI HYEON;JANG, WON JUN;HONG, GYEONG HUN
分类号 H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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