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发明名称
摘要
申请公布号 JP2005510869(A) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 JP20030548284 申请日期 2002.11.25
申请人 发明人
分类号 C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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