发明名称 INTERLAYER CONNECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE TO IMPROVE CONTACT CHARACTERISTIC OF VIA HOLE
摘要
申请公布号 KR100486234(B1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 KR19980005815 申请日期 1998.02.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SEUNG JAE;SEO, TAE UK
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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