发明名称 利用干涉图案的移动追踪
摘要 本发明公开了通过利用来自表面(130、230)的反射光(111、211)产生干涉图案(310)来追踪在所述表面(130、230)上的移动的系统、方法和设备。其中作为传感器(301、302、303、304、305)在所述表面上移动的结果,生成了至少一个对应于对干涉图案(310)的尺寸的检测结果的信号图案(401C、403C、405C、504C、502C)。将这个检测到的尺寸与假设的尺寸值相关联来确定传感器(301、302、303、304、305)行进的距离。
申请公布号 CN1607543A 申请公布日期 2005.04.20
申请号 CN200410062475.X 申请日期 2004.07.08
申请人 安捷伦科技有限公司 发明人 戴尔·W·施罗德;马歇尔·T·德皮尤;罗摩克里希纳·卡卡罗拉;谢彤;格雷戈里·D·范维格瑞恩
分类号 G06K11/06 主分类号 G06K11/06
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 王怡
主权项 1.一种对在表面(130、230)上的移动进行追踪的方法,所述方法包括:利用来自所述表面(130、230)的反射光产生干涉图案(310);作为传感器(120、220)在所述表面(130、230)上移动的结果,生成至少一个对应于对所述干涉图案(310)的某一图形(311)的检测结果的信号图案(401C、403C、405C、504C、502C);以及将所述检测到的图形(311)与假设值相关联来确定所述传感器行进的距离。
地址 美国加利福尼亚州