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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100484322(B1)
申请公布日期
2005.04.20
申请号
KR20020040664
申请日期
2002.07.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;C23C16/40;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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