| 发明名称 | 热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种热处理装置，它包括：在上端部形成有开口部的加热炉主体：设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件；收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器：形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部；以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。 | ||
| 申请公布号 | CN1608312A | 申请公布日期 | 2005.04.20 |
| 申请号 | CN02822002.1 | 申请日期 | 2002.09.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 斋藤孝规;牧谷敏幸;长内长荣;泷泽刚;岛津和久;长谷部一秀;山本博之;斋藤幸正;山贺健一 |
| 分类号 | H01L21/205 | 主分类号 | H01L21/205 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种热处理装置，其特征在于，包括：在上端部形成有开口部的加热炉主体；设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件；收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器；形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部；和设置所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||