附黏着带工件之脱离方法及脱离装置

摘要

一种附黏着带工件之脱离方法，系用以将附黏着带工件从吸附保持该附黏着带工件之保持构件脱离，其系在将附黏着带工件从保持构件脱离时，同时供给气体以降低介于保持构件与附黏着带工件之间的保持构件之保持力。