| 摘要 |
本发明系关于一种光罩(photo mask)、及图案形成方法。本发明的目的，系提供一种光罩，该光罩能够形成再现较好的相互交叉或者合流的复数个狭缝图案。光罩，在透光性基板上，包括：彼此间隔相同分开设置的3个以上的叠片状第1遮光部分110a、与第1遮光部分110a邻接形成的第3遮光部分110c、以及被第1遮光部分110a和第3遮光部分110c包围形成的狭缝状第1透光部分。第3遮光部分110c，以包含距3个以上的所述第1遮光部分110a的距离相同的点的形式形成。藉着使用本光罩，能够用同一个工序形成连接孔图案、和蜂窝状连接孔图案。 |
