| 发明名称 | 柱形结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种包括衬底和在所述衬底上以某种图案形成的一个或多个柱形结构的管芯以及形成该管芯的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1606155A | 申请公布日期 | 2005.04.13 |
| 申请号 | CN200410034758.3 | 申请日期 | 2004.05.12 |
| 申请人 | 先进封装技术私人有限公司 | 发明人 | 金辉·谭;刘世奎;庄汉·沈;巴拉苏布科马尼恩·西瓦格纳姆;罗斯马丽·塔卡普洛特;延元·庞;马·L·南·托伊;林中·信 |
| 分类号 | H01L23/48;H01L23/52;H01L21/60;H01L21/28;H01L21/768 | 主分类号 | H01L23/48 |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 肖善强 |
| 主权项 | 1.一种管芯，包括：衬底；和在所述衬底上以某种图案形成的一个或多个柱形结构。 | ||
| 地址 | 新加坡新加坡市 | ||