用于照相平版印刷术的旋涂抗反射涂料

摘要

用于紫外照相平版印刷术的抗反射涂料，包括被引入到旋涂材料中的至少一种吸收性化合物和至少一种pH调节剂。合适的吸收性化合物是吸收在照相平版印刷术中所用的波长如365nm，248nm，193nm和157nm左右的波长范围内的光的那些化合物。合适的pH调节剂不仅调整最终旋涂组合物的pH，而且影响属于层状材料、电子元件或半导体元件的一部分的最终旋涂组合物的化学性能和特性、机械性能和结构组成，使得最终旋涂组合物与偶合在其上的光刻胶材料更相容。更具体地说，该pH调节剂强烈影响聚合物特性、结构组成和空间取向，这导致提高抗反射涂料的表面性质以获得最佳抗蚀性能。换句话说，仅仅调整旋涂材料的pH但不影响旋涂组合物或偶合的光刻胶材料的机械性能和结构组成的pH调节剂在这里不考虑。制造吸收性和pH调节过的旋涂材料的方法包括在旋涂材料和组合物的合成过程中将至少一种有机吸收性化合物和至少一种pH调节剂与至少一种硅烷反应物混合。

主权项

1.吸收性旋涂玻璃组合物，它包括至少一种无机型化合物，至少一种可引入的有机吸收性化合物，和至少一种pH调节剂。