| 发明名称 |
Process of evaluating manufacturing and/or process deficiencies, method of evaluating apparatus tendencies, as well as associated components |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1235270(A3) |
申请公布日期 |
2005.04.13 |
| 申请号 |
EP20020003676 |
申请日期 |
2002.02.18 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
POEPPEL, GERHARD, DR.;WACHTMEISTER, FRANK |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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