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发明名称 N-Sulfonyloxyimid-derivate und sie enthaltende strahlungsempfindliche Harzzusammensetzungen
摘要
申请公布号 DE60018350(D1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 DE2000618350 申请日期 2000.11.08
申请人 JSR CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 WANG, YONG;KOBAYASHI, EIICHI;MIYAJI, MASAAKI;NUMATA, JUN;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/028;C07D207/46;C07D209/76;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):C07D209/48 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人
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