形状记忆合金复合膜热触发器

摘要

一种形状记忆合金复合膜热触发器，用于微机械和电子控制器件领域。包括：形状记忆合金薄膜、硅偏置梁、硅固支框、触点、控制端口、间隔块、控制端口底座，其连接关系为：形状记忆合金薄膜沉积在硅偏置粱之上，硅偏置梁两端由硅固支框连接并支撑，触点位于硅偏置粱中心与控制端口相对应的位置上，硅偏置粱与控制端口间的距离由间隔块确定，控制端口和间隔块位于控制端口底座上。本发明运用形状记忆合金薄膜不仅可以与微机械工艺兼容，而且有效地改善了触发器的热响应特性。与其它此类触发器相比，本发明具有结构简单、输出位移和驱动力较大、温度敏感、体积小、易集成、适应于大阵列控制和大批量生产的显著优点。

主权项

1、一种形状记忆合金复合膜热触发器，包括：形状记忆合金薄膜(1)、硅偏置梁(2)、硅固支框(3)、触点(4)、控制端口(5)、间隔块(6)、控制端口底座(7)，其特征在于，形状记忆合金薄膜(1)沉积在硅偏置梁(2)之上，硅偏置梁(2)两端由硅固支框(3)连接并支撑，触点(4)位于硅偏置梁(2)中心与控制端口(5)相对应的位置上，硅偏置粱(2)与控制端口(5)间的距离由间隔块(6)确定，控制端口(5)和间隔块(6)位于控制端口底座(7)上。