制作表面声波器件的方法及表面声波器件

摘要

一种制作表面声波器件的方法，包括以下步骤：在压电衬底上形成用来构成叉指电极、接线电极和电极焊接区的第一电极膜；在压电衬底上形成绝缘膜，以覆盖第一电极膜；将绝缘膜制成图案，除去第一电极膜要层叠第二电极膜的部分上存在的绝缘膜；在第一电极膜已除去绝缘膜的部分上形成第二电极膜；以及将凸起粘结在第二电极膜上。

主权项

1.一种制作表面声波器件的方法，其特征在于，依序包括以下步骤：提供压电衬底；在压电衬底上形成第一电极膜，用以构成叉指电极、接线电极和电极焊接区，所述接线电极与叉指电极接触，电极焊接区连接至接线电极，并且，至少使电极焊接区形成具有多个电极层彼此层叠的结构；在压电衬底上形成绝缘膜，以覆盖第一电极膜；将绝缘膜制成图案，以便除去第一电极膜上要层叠第二电极膜的部分上存在的绝缘膜；在第一电极膜上已除去绝缘膜的部分上形成第二电极膜；以及将凸起粘结在第二电极膜上，从而粘结至电极焊接区。