| 发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF A SHORT CHANNEL FIELD EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1520293(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.06 |
| 申请号 |
EP20030762412 |
申请日期 |
2003.06.21 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
FEHLHABER, RODGER;TEWS, HELMUT |
| 分类号 |
H01L29/423;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L29/423 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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