改良式晶舟

摘要

本实用新型是关于一种改良式晶舟，此晶舟上具有复数个置放晶圆的晶圆槽，而每一晶圆槽与其一侧相邻的晶圆槽间具有第一间距，而与另一侧相邻的晶圆槽间具有小于第一间距的第二间距，且置放于第二间距两侧晶圆槽内的晶圆是以背对背的置放方式，而每一晶圆表面之间乃具有第一间距，如此设计不仅不会影响晶圆制程时的均匀度，更可大幅提升每批制程的产能。

主权项

1.一种改良式晶舟，其特征在于，该晶舟上具有复数个晶圆槽，每一晶圆槽放置一晶圆，且每一晶圆槽与其相邻的晶圆槽间皆存在一间距，该复数晶圆槽间的复数个间距由一第一间距及第二间距交叉构成，该第一间距大于该第二间距，且放置于该第二间距两侧的该晶圆槽的晶圆背对背的放置。