| 发明名称 |
DEVICE FOR COATING SUBSTRATES BY PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION, USING A HOLLOW CATHODE DISCHARGE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1520290(A2) |
申请公布日期 |
2005.04.06 |
| 申请号 |
EP20030740221 |
申请日期 |
2003.06.11 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
JUNG, THOMAS |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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