带压力传感器的微型化学推进器

摘要

带压力传感器的微型化学推进器，属于微推进技术和MEMS技术领域。为解决现有MEMS化学推进器无法反馈控制的问题，本发明公开了一种带压力传感器的微型化学推进器，它由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成，并且是一系列基本推进单元的周期性阵列；每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管，喷管底部与燃烧室底部通过点火药腔相连通；每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器，其底部为内凹的棱台结构，顶部为压力敏感薄膜，压力传感器嵌于压力敏感薄膜中，点火器位于压力敏感薄膜的顶面。本发明使燃烧室内实时压力测量成为可能，同时省去了燃烧室和喷管键合的工艺步骤，避免了由于键合引起的对准误差。

主权项

1.带压力传感器的微型化学推进器，其特征在于：所述推进器由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成，并且是一系列基本推进单元的周期性阵列；所述每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管，所述喷管底部与所述燃烧室底部通过所述点火药腔相连通，推进剂从所述燃烧室底部开始燃烧形成燃气，燃气从所述喷管顶部排出；所述每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器，其底部为内凹的棱台结构，顶部为压力敏感薄膜，压力传感器嵌于所述压力敏感薄膜中，点火器位于所述压力敏感薄膜的顶面。