研磨垫及其制造方法

摘要

一种研磨垫，其具有一研磨面、一背面以及一与此研磨面及背面连接之侧壁，且此研磨垫具有中心区与研磨区，其中研磨面之中心区处在研磨过程中会受应力挤压而突起，因而在中心区内系设计有至少一缓冲应力图案。此缓冲应力图案系可缓冲研磨垫的中心区在研磨制程中所承受的应力，以避免中心区受应力挤压而突起，进而防止晶圆裁具与此突起部位摩擦，而产生的碎屑污染晶圆。此外，在研磨垫之侧壁上系设计至少一弧面，以避免在研磨过程中晶圆戴具会与此侧壁摩擦，而产生的碎屑污染晶圆。