发明名称 Verfahren zur Bestimmung von Schichtdickenbereichen
摘要
申请公布号 DE10227376(B4) 申请公布日期 2005.03.31
申请号 DE20021027376 申请日期 2002.06.20
申请人 LEICA MICROSYSTEMS JENA GMBH 发明人 MIKKELSEN, HAKON;WIENECKE, JOACHIM
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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