Verfahren zur Herstellung von elektronischen Bauelementen

摘要

Die Herstellung elektronischer Bauelemente soll durch eine einfache und kostengünstige Strukturierung der dicht aneinander grenzenden Elektroden auf einem Substrat mit möglichst geringem technologischen Aufwand realisiert werden. DOLLAR A Die Strukturierung der Elektroden kann mittels überschneidender Kanten am abgeschiedenen Layer oder mittels Unterätzung des abgeschiedenen Layers erfolgen. Die Fertigstellung der elektronischen Bauelemente erfolgt danach entweder auf herkömmliche Weise, oder mittels eines Lithographieverfahrens von der Unterseite des lichtdurchlässigen Substrates, oder durch Ätzen in die Tiefe des Substrates und anschließender Abfolge bekannter Verfahrensschritte zur Herstellung elektronischer Bauelemente. DOLLAR A Anwendung finden diese vorgestellten Verfahren in der Molekularelektronik, zur Herstellung von Polymer-Feldeffekttransistoren, von Feldemittern oder anderen elektronischen Bauelementen.