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发明名称
摘要
申请公布号 JP2005508526(A) 申请公布日期 2005.03.31
申请号 JP20030542397 申请日期 2002.10.29
申请人 发明人
分类号 G02F1/1343;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/134;G02F1/136 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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