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发明名称 Ellipsometrisches Messverfahren und entsprechende Vorrichtung für in einer Kammer oder dergleichen enthaltene Proben
摘要
申请公布号 DE60102619(T2) 申请公布日期 2005.03.31
申请号 DE20016002619T 申请日期 2001.05.17
申请人 SOCIETE DE PRODUCTION ET DE RECHERCHES APPLIQUEES, BOIS-COLOMBES 发明人 STEHLE, JEAN-LOUIS;BOHER, PIERRE
分类号 G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/21;G01N21/95 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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