发明名称 |
阵列波导光栅型梳状滤波器 |
摘要 |
一种阵列波导光栅型梳状滤波器,其功能是将一列频率等间隔的光波信号,交替分为奇数序和偶数序两列,并从两个信道输出;其光传输是由表面光波导构成,其中包括:一基底;一下包层,主要是二氧化硅材料,该层材料制备在基底表面;一芯层,主要是掺锗二氧化硅材料、或硅材料,该芯层制备在二氧化硅的下包层上;在芯层上刻蚀出光传输条状的矩形波导、或脊形波导;在刻蚀后的芯层表面再覆盖二氧化硅材料,作为上包层;该上下包层的作用是束缚光波、而芯层是传输光波。 |
申请公布号 |
CN1601310A |
申请公布日期 |
2005.03.30 |
申请号 |
CN03159477.8 |
申请日期 |
2003.09.25 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
韩培德;窦金锋;叶志成;王红杰;胡雄伟 |
分类号 |
G02B6/124;G02B6/34;H04J14/02;H04B10/12 |
主分类号 |
G02B6/124 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种阵列波导光栅型梳状滤波器,其功能是将一列频率等间隔的光波信号,交替分为奇数序和偶数序两列,并从两个信道输出;其光传输是由表面光波导构成,其特征在于,其中包括:一基底;一下包层,是二氧化硅材料,该层材料制备在基底表面;一芯层,是掺锗二氧化硅材料、或硅材料,该芯层制备在二氧化硅的下包层上;在芯层上刻蚀出光传输条状的矩形波导、或脊形波导;在刻蚀后的芯层表面再覆盖二氧化硅材料,作为上包层;该上下包层的作用是束缚光波、而芯层是传输光波。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |