发明名称 阵列波导光栅型梳状滤波器
摘要 一种阵列波导光栅型梳状滤波器,其功能是将一列频率等间隔的光波信号,交替分为奇数序和偶数序两列,并从两个信道输出;其光传输是由表面光波导构成,其中包括:一基底;一下包层,主要是二氧化硅材料,该层材料制备在基底表面;一芯层,主要是掺锗二氧化硅材料、或硅材料,该芯层制备在二氧化硅的下包层上;在芯层上刻蚀出光传输条状的矩形波导、或脊形波导;在刻蚀后的芯层表面再覆盖二氧化硅材料,作为上包层;该上下包层的作用是束缚光波、而芯层是传输光波。
申请公布号 CN1601310A 申请公布日期 2005.03.30
申请号 CN03159477.8 申请日期 2003.09.25
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 韩培德;窦金锋;叶志成;王红杰;胡雄伟
分类号 G02B6/124;G02B6/34;H04J14/02;H04B10/12 主分类号 G02B6/124
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种阵列波导光栅型梳状滤波器,其功能是将一列频率等间隔的光波信号,交替分为奇数序和偶数序两列,并从两个信道输出;其光传输是由表面光波导构成,其特征在于,其中包括:一基底;一下包层,是二氧化硅材料,该层材料制备在基底表面;一芯层,是掺锗二氧化硅材料、或硅材料,该芯层制备在二氧化硅的下包层上;在芯层上刻蚀出光传输条状的矩形波导、或脊形波导;在刻蚀后的芯层表面再覆盖二氧化硅材料,作为上包层;该上下包层的作用是束缚光波、而芯层是传输光波。
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