发明名称 | 蓝宝石衬底减薄方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种蓝宝石衬底厚度减薄方法,减薄过程包括粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤。通过粘片步骤使用压缩气体施加压力,在粗磨抛光步骤使用变速磨盘转速研磨,在去蜡步骤使用溶蜡的有机溶剂间接加热的方法,从而降低减薄过程中衬底破裂的可能性,提高了产品成品率。 | ||
申请公布号 | CN1601766A | 申请公布日期 | 2005.03.30 |
申请号 | CN03146936.1 | 申请日期 | 2003.09.23 |
申请人 | 方大集团股份有限公司 | 发明人 | 王胜国;许其推;吴启保 |
分类号 | H01L33/00;H01L21/84;B24B1/00 | 主分类号 | H01L33/00 |
代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郭伟刚 |
主权项 | 1、一种蓝宝石衬底减薄方法,包含粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤,其中粘片步骤通过加热熔蜡,然后抽真空使得衬底固定到粘片载体上,其中粗磨步骤通过旋转磨盘打磨衬底,其中去蜡步骤通过加热使蜡熔化,从而分离衬底和粘片载体,其特征在于,所述粗磨步骤中采用磨盘变速旋转方式进行研磨。 | ||
地址 | 518055广东省深圳市南山区西丽龙井方大城 |