基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关

摘要

一种基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关。用于自动控制技术领域。包括：下电极及其上纳米介电薄膜、动电极和非静电微驱动器，下电极是一层导电金属薄膜，纳米介电薄膜位于下电极之上，动电极位于纳米介电薄膜之上，与非静电微驱动器连接，它是自支撑的可动部件，非静电微驱动器驱动动电极靠近或离开上电极，从而使平行板电容器产生变化，实现开关的通断。本发明能够采用厚度很薄的纳米介电薄膜作为可调电容的绝缘介质，显著提高最大电容值，从而提高电容式开关的通断比，改善开关的工作特性。

主权项

1、一种基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关，包括：下电极(1)及其上的纳米介电薄膜(2)、动电极(3)和非静电微驱动器(4)，其特征在于，下电极(1)是一层导电金属薄膜，纳米介电薄膜(2)位于下电极(1)之上，动电极(3)位于纳米介电薄膜(2)之上，与非静电微驱动器(4)连接，它是自支撑的可动部件，非静电微驱动器(4)驱动动电极(3)靠近或离开上电极，从而使平行板电容器产生变化，实现开关的通断。