| 发明名称 |
SYMMETRICAL SPUTTERING APPARATUS WITH PLASMA CONFINEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3458426(A) |
申请公布日期 |
1969.07.29 |
| 申请号 |
USD3458426 |
申请日期 |
1966.05.25 |
| 申请人 |
FABRI TEK INC. |
发明人 |
WILLIAM V. RAUSCH;ARTHUR CALDERON JR. |
| 分类号 |
H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
