曝光用大型基板

摘要

本发明之解决手段为：一种曝光用大型基板，是对角长度或直径为500mm以上，且厚度为1～20mm之平板状的曝光用大型基板，其特征为：外周面的面粗糙度Ra为0.05～0.4μm。其效果为：若根据本发明的曝光用大型基板的话，则由于可大幅地减低：在洗净时由基板外周部面释出之粒子，故能够提升大型基板之洗净成品良率。又，由于可进行基板之搬运，故能够不需导入搬运设备而提升基板品质。