X射线萤光检查装置

摘要

本发明揭示一种用以于x轴及y轴方向定位一样本台之x与y轴移动机械装置。并提供独立于x与y轴移动机械装置，并沿X射线摄影机之倾斜方向移动上述移动机械装置之yT轴移动机械装置。当X射线摄影机倾斜时，以yT轴移动机械装置及z轴移动机械装置移动样本台，藉以于X射线摄影机倾斜前，设定样本之观点及萤光检查放大率使之不致改变。在X射线摄影机倾斜前，以移动机械装置所为之样本台上之座标，即使在摄影机倾斜后亦可使用。