制造远紫外线辐射或软性X射线之方法及装置METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION OR SOFT X-RAY RADIATION

摘要

本发明揭示一种藉由一电性操作而放电来制造远紫外线辐射(extreme ultraviolet radiation；EUV)或软性X射线之方法，特定言之系用于EUV微影或用于度量，其中在一放电空间(12)内之至少两个电极(14、16)间的一气体媒介中点燃一电浆(22)，该电浆发射需要制造之该辐射。为提供上述类型之一种方法，其不具先前技术之缺点同时提供更大辐射功率，而无高电极磨损，建议以一金属熔体(24)制造该气体媒介，该金属熔体应用于该放电空间(12)内的一表面，并藉由一能量波束至少部分被蒸发，特定言之系藉由一雷射波束(20)。