发明名称 具有超疏水性表面之盘式载具
摘要 一种具有超疏水性表面之盘式载体,用以增进更有效的清洗与乾燥该盘式载体。在本发明中,一盘式载体之整个表面或部分表面系为超疏水性。该盘式载体之超疏水性表面使该液体可与该表面接触,例如可用于清洗中,以快速且容易「滚落」,而不会留下一液体薄膜或实质上液滴量。如此一来,会花费较少时间与能量于乾燥该表面上,且缩小重新沉积残留物,藉此改良方法的全面品质,并促进该盘式载体之经济重新使用。除此之外,该超疏水性表面可抗拒初始沉积的污染,该污染可能为液体或蒸气形式。
申请公布号 TW200510093 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW093110483 申请日期 2004.04.15
申请人 安堤格里斯公司 发明人 查尔斯 艾克斯崔恩
分类号 B23B3/00;H01L21/68 主分类号 B23B3/00
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 美国