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发明名称
具有超疏水性表面之盘式载具
摘要
一种具有超疏水性表面之盘式载体,用以增进更有效的清洗与乾燥该盘式载体。在本发明中,一盘式载体之整个表面或部分表面系为超疏水性。该盘式载体之超疏水性表面使该液体可与该表面接触,例如可用于清洗中,以快速且容易「滚落」,而不会留下一液体薄膜或实质上液滴量。如此一来,会花费较少时间与能量于乾燥该表面上,且缩小重新沉积残留物,藉此改良方法的全面品质,并促进该盘式载体之经济重新使用。除此之外,该超疏水性表面可抗拒初始沉积的污染,该污染可能为液体或蒸气形式。
申请公布号
TW200510093
申请公布日期
2005.03.16
申请号
TW093110483
申请日期
2004.04.15
申请人
安堤格里斯公司
发明人
查尔斯 艾克斯崔恩
分类号
B23B3/00;H01L21/68
主分类号
B23B3/00
代理机构
代理人
赖经臣;宿希成
主权项
地址
美国
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