用于化学机械平整化应用之垫子结构

摘要

本发明系针对一种包括一固定研磨层及一子垫(subpad)之研磨物品。该固定研磨元件与该子垫系共同延伸(co-extensive)。该子垫包括一弹性元件。该弹性元件具有如使用ASTM-2240所量测之不超过60的肖尔A硬度(Shore Ahardness)。