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发明名称 SENSOR AND METHOD FOR MEASURING A CURRENT OF CHARGED PARTICLES
摘要
申请公布号 EP1514126(A1) 申请公布日期 2005.03.16
申请号 EP20030735868 申请日期 2003.05.21
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 LENSSEN, KARS-MICHIEL, H.
分类号 G01R15/20;G01R33/09;G01T1/29;G21K5/04;H01J37/04;H01L43/08;(IPC1-7):G01R33/09 主分类号 G01R15/20
代理机构 代理人
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