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发明名称 Improved precursors for chemical vapour deposition
摘要
申请公布号 GB0502446(D0) 申请公布日期 2005.03.16
申请号 GB20050002446 申请日期 2005.02.07
申请人 EPICHEM LIMITED 发明人
分类号 C07D263/14;C07F7/00;C23C16/40 主分类号 C07D263/14
代理机构 代理人
主权项
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