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"APARELHO DE REVESTIMENTO DE MúLTIPLOS LOCAIS E PROCESSO PARA REVESTIMENTO DE PLASMA". A invenção fornece um aparelho de revestimento (1) para simplificar a introdução e remoção de peças de trabalho (25, 27) em e de um reator por revestimento de plasma e para aumentar a produtividade, tendo - um reator (18) com uma parte de manga móvel (19) e um elemento de base (33), com pelo menos uma câmara de revestimento selada (15, 17) sendo definida entre a parte de manga (19) e o elemento de base (33) quando as últimas duas partes são adaptadas uma sobre a outra, e tendo - um dispositivo (2) para introdução de energia eletromagnética em pelo menos uma câmara de revestimento (15, 17), em que o reator (18) possui pelo menos dois locais de revestimento (12,14).
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