发明名称 HALTEVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT290252(T) 申请公布日期 2005.03.15
申请号 AT19980955299T 申请日期 1998.12.01
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 STAUSS, PETER;KERSCHBAUMER, JOERG
分类号 H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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