汽化炉之结构改良

摘要

本创作揭露一种汽化炉之结构改良，其包含一开口尺寸较底部尺寸小而呈现上窄下宽之炉体，另搭配一位于炉体外周围之加热系统，当对固态离子源来进行加热汽化时，随着加温过程固态离子源数量不断的减少，其固/气界面之表面积将随着炉体的底部具较大之尺寸，而有效的弥补固态离子数量减少，所导致离子植入机获得的离子总量降低之情况。

主权项

1.一种汽化炉之结构改良,其包括有:一炉体;以及一位于炉体外周缘的加热系统;其特征在于:该炉体之开口尺寸较炉体之底部尺寸小。2.如申请专利范围第1项所述之汽化炉之结构改良,其中该炉体的结构为圆锥状。3.如申请专利范围第1项所述之汽化炉之结构改良,其中该炉体的结构为角锥状。4.如申请专利范围第1项所述之汽化炉之结构改良,其中该加热系统为电阻式加热系统。图式简单说明:第一图与第二图系习用汽化炉实施例示意图。第三图系本创作示意图。第四图与第五图系本创作之汽化炉实施例之示意图。