| 发明名称 |
MIRROR COMPRISING A DIAMOND SUBSTRATE FOR A DEFLECTION UNIT IN A LASER SYSTEM, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND DEFLECTION UNIT FOR A LASER SYSTEM |
| 摘要 |
<p>Ein Spiegel (42) für eine Galvo-Ablenkeinheit (3,4) in einem Laser-Bearbeitungssystem besitzt ein Spiegelsubstrat (10) aus einem Diamantmaterial. Das Spiegelsubstrat kann auch aus kleineren Diamantsegmenten zusammengesetzt sein. Dieses Spiegelsubstrat (10) aus Diamant besitzt bei geringerer Dicke (d2) gegenüber herkömmlichen Spiegelsubstraten (32) eine hohe Steifigkeit und ermöglicht dadurch höhere Arbeitsgeschwindigkeiten in dem Lasersystem.</p> |
| 申请公布号 |
WO2005022209(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.10 |
| 申请号 |
WO2004EP51396 |
申请日期 |
2004.07.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;KLINGEL, HANS;MAYER, HANS, JUERGEN;METZ, DANIEL |
发明人 |
KLINGEL, HANS;MAYER, HANS, JUERGEN;METZ, DANIEL |
| 分类号 |
B23K26/08;G02B1/02;G02B7/182;(IPC1-7):G02B5/08;B23K26/06;G02B26/10 |
主分类号 |
B23K26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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